| 序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
| 1 | 感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统（ICPECVD) | 1套 | 2.1 反应腔室：2.1.1 由整块铝锭加工制成、无焊缝、低漏率。侧壁带加热功能。★2.1.2 样品尺寸：最大8英寸直径晶圆、向下兼容更小的晶圆片或不规则碎片；不同尺寸样片之间的切换、无需反应腔室的开腔破真空。其余详见“第八章 货物需求一览表及技术规格” | 预算金额：人民币335.00万元。 最高限价：人民币335.00万元。 交货期：签订合同后11个月内 交付 邮件主题包含：投标人名称+项目编号+项目名称，邮件附件包含：网上转账凭证。发 5、投标文件的递交投标截止时间（开标时间）:2023-12-15 09:30投标文件 评标结果将在必联网和 公示。7、联系方式招标人:上海交通大学地址:上海市闵行区东川路800号 |
未曾在中国电力招标采购网（www.dlztb.com）上注册会员的单位应先注册。登录成功后根据招标公告的相说明下载投标文件！
项目 联系人：李杨
咨询电话：010-51957458
传真：010-51957412
手机：13683233285
QQ:1211306049
微信：Li13683233285 邮箱：1211306049@qq.com
备注：欲购买招标文件的潜在投标人,注册网站并缴纳因特网技术服务费后，查看项目业主，招标公告，中标公示等，并下载资格预审范围，资质要求，招标清单，报名申请表等。为保证您能够顺利投标，具体要求及购买标书操作流程按公告详细内容为准，以招标业主的解答为准本。
编辑：chinabidding.co
