序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
4197-214BOEMY0001/195 | 有毒气体处理机 | 20套 | 设备用途及基本要求 本设备主要用于【处理Dry Etch、CVD and Implant制程后的有毒有害气体】。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY1500/USD250 |
4197-214BOEMY0001/196 | 遮光油墨和导电油墨自动涂布设备 | 1套 | 设备用途及基本要求 本设备主要用于遮光胶水、油墨涂布及导电银胶涂布。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY3000/USD500 |
4197-214BOEMY0001/197 | 高温工艺炉改造 | 1套 | 设备用途及基本要求 本设备主要用于活化/氧化物退火/绝缘层退火等工艺。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY1500/USD250 |
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