甬江实验室采购深硅刻蚀机和湿法厚膜沉积设备项目（重招）国际招标公告(2)

对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2024-04-29在公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。1、招标条件项目概况:甬江实验室因发展需要，需采购深硅刻蚀机1套、湿法厚膜沉积设备1套。资金到位或资金来源落实情况:项目所需资金已经落实。项目已具备招标条件的说明:项目已具备招标条件。2、招标内容招标项目编号:0762-2441CBNB2010招标项目名称:甬江实验室采购深硅刻蚀机和湿法厚膜沉积设备项目（重招）项目实施地点:中国浙江省招标产品列表(主要设备):

序号	产品名称	数量	简要技术规格	备注
1	深硅刻蚀机	1套	真空系统：腔室极限真空≤0.1mTorr，腔室漏气率≤2mTorr/min，控压范围至少包括5mTorr-500mTorr，控压精度≤±0.1mTorr。
2	湿法厚膜沉积设备	1套	预处理模块：配置预润湿功能，电镀前对晶圆表面及TSV深孔等进行有效润湿并去除晶圆表面颗粒等污染物，真空度≤40torr，漏率＜40torr/min。

3、投标人资格要求投标人应具备的资格或业绩:投标人必须是投标产品的制造商或投标产品的制造商授权的代理商，如为代理商需提供制造商针对本项目的授权书是否接受联合体投标:不接受未领购招标文件是否可以参加投标:不可以4、
未曾在中国电力招标采购网（www.dlztb.com）上注册会员的单位应先注册。登录成功后根据招标公告的相说明下载投标文件！

项目 联系人：李杨  
咨询电话：010-51957458 
传真：010-51957412 
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微信：Li13683233285 邮箱：1211306049@qq.com

备注：欲购买招标文件的潜在投标人,注册网站并缴纳因特网技术服务费后，查看项目业主，招标公告，中标公示等，并下载资格预审范围，资质要求，招标清单，报名申请表等。为保证您能够顺利投标，具体要求及购买标书操作流程按公告详细内容为准，以招标业主的解答为准本。

编辑：chinabidding.co