中国仪器进出口集团 对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2024-04-30在公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。1、招标条件项目概况:设备名称：离子束刻蚀机设备数量：1台设备用途：主要用于8英寸MEMS工艺中的金属膜层（Au、Ti）的刻蚀加工。资金到位或资金来源落实情况:资金已到位项目已具备招标条件的说明:已具备2、招标内容招标项目编号:0709-244035614023招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之离子束刻蚀机项目实施地点:中国安徽省招标产品列表(主要设备):
| 序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
| 1 | 离子束刻蚀机 | 1套 | *刻蚀工艺腔
要求腔室内部安装有易拆卸替换的专用内衬板、栅网、观察窗、石英放电腔等，可实现设备真空腔室的快速清理和维护，要求设备配备两套内衬板，两套栅网，两套石英放电腔、两套观察窗、两套中和器，一套在用，一套备用；工艺腔室为模块化平台构造，包含气体气路、腔室本体、ESC下电极、电源分配模块接口、传送腔体接口等；对于刻蚀窗口暴露面积超过10%的晶圆，具备终点检测抓取能力。
对于厚度300μm～1100μm的8英寸晶圆片，金（Au）薄膜刻蚀应满足以下指标：
*（1）金（Au）刻蚀速率≥800？/min；
| |
3、投标人资格要求投标人应具备的资格或业绩:（1）投标人是响应招标、已在招标人或招标机构处领购招标文件并参加投标竞争的法人或其他组织。任何未在招标人或招标机构处领购招标文件的法人或其他组织均不得参加投标。（2）凡是来自中华人民共和国或是与中华人民共和国有正常贸易往来的国家或地区的法人或其他组织均可投标。（3）与招标人存在利害关系可能影响招标公正性的法人或其他组织不得参加投标。（4）接参与项目前期咨询和招标文件编制的法人或其他组织不得参加一家代理商参与本项目投标。同一品牌的制造商和代理商不能同时参加本项目的投标。（11）投标人可以是设备制造厂家或设备授权代理商，代理商需有设备原厂家的有效授权书；并且具有设备技术支持和服务能力。（12）投标人可以是设备制造厂家或设备再制造厂商，也可以是设备授权代理商，代理商需有设备原厂家的有效授权书；并且具有设备技术支持和服务能力。要求2020年至今同类型设备出货量与验收数量大于10台，国产设备与再制造厂商提供合同和验收材料，进口全新设备出具盖章的业绩说明材料。（13）试样要求：招标人有权利依次对满足标书要求的设备进行样品试制，试制样品须满足本标书第三条（主要技术指标）中样品试制要求。招标方提供样片给投标方，投标方使用参与投标的同型号设备，测试过程由招标方进行现场监督，招标方按照试制样品验收指标要求进行工艺测试，测试完成后提交招标方检测评估，检测评估合格，投标方才具备投标资格。是否接受联合体投标:不接受未领购招标文件是否可以参加投标:不可以4、
未曾在中国电力招标采购网（www.dlztb.com）上注册会员的单位应先注册。登录成功后根据招标公告的相说明下载投标文件！
项目 联系人：李杨
咨询电话：010-51957458
传真：010-51957412
手机：13683233285
QQ:1211306049
微信：Li13683233285 邮箱：1211306049@qq.com
备注：欲购买招标文件的潜在投标人,注册网站并缴纳因特网技术服务费后，查看项目业主，招标公告，中标公示等，并下载资格预审范围，资质要求，招标清单，报名申请表等。为保证您能够顺利投标，具体要求及购买标书操作流程按公告详细内容为准，以招标业主的解答为准本。
编辑：chinabidding.co
