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招标项目编号：0834-2441SH24A536
项目名称：中国科学院上海光学精密机械研究所掩模缺陷检测设备
项目名称（英文）：Mask Defect Detection Equipment
招标机构：上海中招招标
招标方式：公开招标
招标结果：重新招标
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