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招标项目编号：0613-244022086875
项目名称：光学临近效应修正及可制造性设计和物理验证成套工具软件
项目名称（英文）：OPC/DFM
招标机构：上海机电设备招标
招标方式：公开招标
招标结果：重新招标
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